本站消息炒股怎样加十倍杠杆,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体结构制备方法及半导体结构”,专利申请号为CN202411868367.5,授权日为2025年3月25日。
专利摘要:本公开涉及一种半导体结构制备方法及半导体结构,涉及集成电路技术领域,包括:提供衬底;基于目标光罩,形成沿第一方向依次贯穿支撑叠层的第一通孔;于第一通孔的内侧壁形成目标叠层,目标叠层限定出一第二通孔,目标叠层包括由外至内交替层叠的目标碳层、隔离层;形成填充第二通孔的介电叠层;基于目标光罩,形成贯穿介电叠层并暴露出目标叠层的第三通孔;经由第三通孔刻蚀并去除第二通孔内剩余介电叠层后,过刻蚀第一介电层,得到暴露部分导电层的凹槽;去除目标碳层,形成覆盖第三通孔内侧壁及凹槽内表面的金属阻挡层,相邻剩余隔离层之间包括空气间隙。至少能够减少光罩的使用数量,降低制备工艺的复杂度及成本。
今年以来晶合集成新获得专利授权75个,较去年同期增加了17.19%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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